一、背景介绍：石墨盘盘生逆转，龙套变主演

年即将过去，这一年的LED产业大戏不断，好剧连台。

不过在这样的背景下，一个曾经毫不起眼的龙套角色，硬是盖过了几百亿大手笔产业投资的风头（三安在泉州亿投资项目市场完全波澜不惊），在这一年跨进舞台中央，搅起两家A股公司股价异动，过足了戏精的瘾。

这主角是谁呢？正是本文所要探讨的石墨盘。

图片来源：SGLGROUP

石墨盘是MOCVD反应设备中必不可少的一项易耗零件，石墨盘的表面SiC涂层品质对于确保LED芯片的质量和一致性有着非常关键的影响。SiC涂层要和所挑选的石墨具备均一的热导率，高温生产时才不会出现严重的形变。高度精密加工水平和涂层的均匀性确保了外延片载盘片坑表面的光滑度和平整性。这些都直接影响到外延片的晶体质量。

因此对芯片厂家来说，高质量的石墨盘是不可或缺的生产耗材，每个MOCVD腔生产炉左右就得及时更换新的石墨盘，保证MOCVD反应炉处在最佳工作状态。但是即便如此重要，此前行业内很少会注意到这个非常不起眼的设备零件。

真正令石墨盘走上台前，受到行业普遍

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